清洁硅片 Customs Classification Inquiry
Inquiry Information
Industry Category
其他商品
Chinese Product Name
清洁硅片
English Product Name
CCW,SPIN,300MM,N,SC4,HT
Intended Use
货物本质上是由一块未掺杂，且未形成分立的导电区的硅片（含硅量99.9999%）底部粘了一层有机聚合物的膜组成，可以进入半导体设备中后，把Echunk（晶圆载台）上的杂质粘到polymer膜上后，再通过wafer运输系统把粘有杂质的CCW带出设备中，从而实现不开chamber对Echunk的清洗。
Composition
Si+polymer
CAS
-
Brand (Chinese and English)
无
Model
无
Other related product information
未掺杂，未形成分立的导电区，直径30cm，850微米 厚度
Function
货物本质上是由一块未掺杂，且未形成分立的导电区的硅片（含硅量99.9999%）与一层有机聚合物的膜构成的，可以进入半导体设备中后，把Echunk（晶圆载台）上的杂质粘到polymer膜上后，再通过wafer运输系统把粘有杂质的CCW带出设备中，从而实现不开chamber对Echunk的清洗。
Material
Si+polymer