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蚀刻处理设备表面处理机表面抛光处理设备(旧) 边缘曝光装置,专用于制造半导体器件的涂胶显影机,对硅片边缘部件进行切片处理铜面微蚀处理设备镍金前处理设备镭射头的修理费防氧化处理机防焊喷砂前处理设备/MURAKI 集成电路微封装溢料处理系统/品牌:MI YACHI 静电吸盘(专用于制造半导体器件设备物理预叠机用安装板/专用零件已作定型处理高拉应力氮化硅薄膜紫外处理设备高真空电子束蒸镀系统（物理沉积/实验室用）

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商品编码层级	退税率	监管条件	检验检疫	操作
- 16 第十六类机器、机械器具、电气设备及其零件;录音机及放声机、电视图像、声音的录制和重放设备及其零件、附件
- 84 核反应堆、锅炉、机器、机械器具及零件
- 8486 专用于或主要用于制造半导体单晶柱或晶圆、半导体器件、集成电路或平板显示器的机器及装置；本章注释11（3）规定的机器及装置；零件及附件
- 848620 制造半导体器件或集成电路用的机器及装置
8486204900 其他制造半导体器件或集成电路用刻蚀及剥离设备	13%			详情

商品编码层级	退税率	监管条件	检验检疫	操作
- 16 第十六类机器、机械器具、电气设备及其零件;录音机及放声机、电视图像、声音的录制和重放设备及其零件、附件
- 84 核反应堆、锅炉、机器、机械器具及零件
- 8486 专用于或主要用于制造半导体单晶柱或晶圆、半导体器件、集成电路或平板显示器的机器及装置；本章注释11（3）规定的机器及装置；零件及附件
- 848630 制造平板显示器用的机器及装置
8486304900 其他制造平板显示器用湿法蚀刻、显影、剥离、清洗装置	13%			详情

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- 84 核反应堆、锅炉、机器、机械器具及零件
- 8486 专用于或主要用于制造半导体单晶柱或晶圆、半导体器件、集成电路或平板显示器的机器及装置；本章注释11（3）规定的机器及装置；零件及附件
- 848610 制造单晶柱或晶圆用的机器及装置
8486104000 制造单晶柱或晶圆用的化学机械抛光设备	13%			详情

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- 84 核反应堆、锅炉、机器、机械器具及零件
- 8486 专用于或主要用于制造半导体单晶柱或晶圆、半导体器件、集成电路或平板显示器的机器及装置；本章注释11（3）规定的机器及装置；零件及附件
- 848690 品目8486的零件及附件
8486909900 其他品目8486项下商品用零件和附件	13%			详情

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- 84 核反应堆、锅炉、机器、机械器具及零件
- 8486 专用于或主要用于制造半导体单晶柱或晶圆、半导体器件、集成电路或平板显示器的机器及装置；本章注释11（3）规定的机器及装置；零件及附件
- 848620 制造半导体器件或集成电路用的机器及装置
8486204900 其他制造半导体器件或集成电路用刻蚀及剥离设备	13%			详情

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- 84 核反应堆、锅炉、机器、机械器具及零件
- 8486 专用于或主要用于制造半导体单晶柱或晶圆、半导体器件、集成电路或平板显示器的机器及装置；本章注释11（3）规定的机器及装置；零件及附件
- 848620 制造半导体器件或集成电路用的机器及装置
8486209000 其他制造半导体器件或集成电路用机器及装置	13%			详情

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- 8486 专用于或主要用于制造半导体单晶柱或晶圆、半导体器件、集成电路或平板显示器的机器及装置；本章注释11（3）规定的机器及装置；零件及附件
- 848690 品目8486的零件及附件
8486909900 其他品目8486项下商品用零件和附件	13%			详情

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- 848630 制造平板显示器用的机器及装置
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- 8486 专用于或主要用于制造半导体单晶柱或晶圆、半导体器件、集成电路或平板显示器的机器及装置；本章注释11（3）规定的机器及装置；零件及附件
- 848620 制造半导体器件或集成电路用的机器及装置
8486209000 其他制造半导体器件或集成电路用机器及装置	13%			详情

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- 16 第十六类机器、机械器具、电气设备及其零件;录音机及放声机、电视图像、声音的录制和重放设备及其零件、附件
- 84 核反应堆、锅炉、机器、机械器具及零件
- 8486 专用于或主要用于制造半导体单晶柱或晶圆、半导体器件、集成电路或平板显示器的机器及装置；本章注释11（3）规定的机器及装置；零件及附件
- 848640 本章注释11（3）规定的机器及装置
8486402900 其他主要或专用于装配封装半导体器件和集成电路的设备	13%			详情

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- 16 第十六类机器、机械器具、电气设备及其零件;录音机及放声机、电视图像、声音的录制和重放设备及其零件、附件
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- 8486 专用于或主要用于制造半导体单晶柱或晶圆、半导体器件、集成电路或平板显示器的机器及装置；本章注释11（3）规定的机器及装置；零件及附件
- 848690 品目8486的零件及附件
8486909900 其他品目8486项下商品用零件和附件	13%			详情

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- 16 第十六类机器、机械器具、电气设备及其零件;录音机及放声机、电视图像、声音的录制和重放设备及其零件、附件
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- 8486 专用于或主要用于制造半导体单晶柱或晶圆、半导体器件、集成电路或平板显示器的机器及装置；本章注释11（3）规定的机器及装置；零件及附件
- 848690 品目8486的零件及附件
8486901000 升降、搬运、装卸机器用零件或附件	13%			详情

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- 16 第十六类机器、机械器具、电气设备及其零件;录音机及放声机、电视图像、声音的录制和重放设备及其零件、附件
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8486209000 其他制造半导体器件或集成电路用机器及装置	13%			详情

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- 848620 制造半导体器件或集成电路用的机器及装置
8486202200 制造半导体器件或集成电路用物理气相沉积装置	13%			详情