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制造平板显示器用物理气相沉积装置(PVD) 磁控溅射设备(旧,物理气相沉积装置)ALCATEL COMPTECH 制造半导体器件或集成电路用物理气相沉积装置固定件(品牌:ULVAC,塑料制,制造平板显示器的物理气相 B1显影机,对玻璃基板进行显影处理,将R光阻中未曝光部分溶液清洗达到显影目的,MITSUI FPR修理贴付装置 G1显影机,对玻璃基板进行显影处理,将R光阻中未曝光部分溶液清洗达到显影目的,MITSUI IC塑封后热处理机MC609H-1-AC-2 PSD信号处理板 PS显影机,对玻璃基板进行显影处理,将PS光阻中未曝光部分溶液清洗达到显影目的,HITACHI R1显影机,对玻璃基板进行显影处理,将R光阻中未曝光部分溶液清洗达到显影目的,MITSUI SOF接续画像处理装置下部电极板/阵列干法刻蚀设备零件(修理费) 临场蒸汽产生热处理设备体温计电路板切割机用切割主体（修理费）信号处理板信号接收处理模块偏光板贴附装置偏贴部件用滚筒的修理费光刻机专用信号处理板光刻机零件晶片承接台/修理费

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商品编码层级	退税率	监管条件	检验检疫	操作
- 16 第十六类机器、机械器具、电气设备及其零件;录音机及放声机、电视图像、声音的录制和重放设备及其零件、附件
- 84 核反应堆、锅炉、机器、机械器具及零件
- 8486 专用于或主要用于制造半导体单晶柱或晶圆、半导体器件、集成电路或平板显示器的机器及装置；本章注释11（3）规定的机器及装置；零件及附件
- 848630 制造平板显示器用的机器及装置
8486302200 制造平板显示器用物理气相沉积装置	13%			详情

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- 848620 制造半导体器件或集成电路用的机器及装置
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8486304900 其他制造平板显示器用湿法蚀刻、显影、剥离、清洗装置	13%			详情

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8486201000 氧化、扩散、退火及其他热处理设备	13%			详情

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