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行业分类
零件
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1
产品中文名称
兆声波清洗头
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产品英文名称
MegPie™
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用途
去除晶圆表面19nm以上颗粒物
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品牌（中文及英文）
Prosys
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型号
-
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其他相关产品信息
-
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工作原理
兆声波，利用兆声波原理形成空化效应，从而清洗颗粒物
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功能
晶圆表面颗粒物的清洗移除，用于清洗设备。
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已答复
推荐编码
8479909090
-
税目84.79所列机器的其他零件
层级（大 → 小）
- 8479909090 税目84.79所列机器的其他零件
- 847990 8479所列机器的零件
- 8479 本章其他品目未列名的具有独立功能的机器及机械器具
- 84 核反应堆、锅炉、机器、机械器具及零件
- 16 第十六类 机器、机械器具、电气设备及其零件;录音机及放声机、电视图像、声音的录制和重放设备及其零件、附件
归类理由
用于清洗设备，可以按清洗机零件归入对应HS
GXG
答复人
2026-05-26 11:57
修改记录
| 时间 | 操作 | 操作人 | 海关编码 | 理由 |
|---|---|---|---|---|
| 2026-05-26 11:57 | Create | e4def177 | 8479909090 | 用于清洗设备，可以按清洗机零件归入对应HS |