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制造半导体器件时检验半导体晶片、器件或检测光掩模或光栅用

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颗粒测试仪(旧)/检测硅片表面颗粒情况 9031410000 [税目]
制造半导体器件时检验半导体晶圆、器件或检测光掩模或光栅用的仪器和器具 [第90章其他税目未列名的] 		13% 详情