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薄膜沉积系统
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8486302900 [税目]
其他制造平板显示器用薄膜沉积设备
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13%
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镀膜机/制造平板显示器专用
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8486302200 [税目]
制造平板显示器用物理气相沉积装置
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13%
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等离子增强化学气相沉积系统;实验室薄膜制备;AIXTRON Ltd;固体样品气化后沉积在固体基体表面,用于薄膜制备
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8486302100 [税目]
制造平板显示器用化学气相沉积装置
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13%
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多靶磁控溅射镀膜系统;将靶材上的材料均匀沉积到器件上;利用等离子体溅射原理,用于半导体器件;丹顿
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8486302200 [税目]
制造平板显示器用物理气相沉积装置
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13%
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溅射装置（旧）
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8486302900 [税目]
其他制造平板显示器用薄膜沉积设备
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13%
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