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8486204

刻蚀及剥离设备:

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金属蚀刻机/LAM 8486204100 [税目]
制造半导体器件或集成电路用等离子体干法刻蚀机
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等离子刻蚀机(志圣) 8486204100 [税目]
制造半导体器件或集成电路用等离子体干法刻蚀机
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干式光阻去除机/Mattson 8486204100 [税目]
制造半导体器件或集成电路用等离子体干法刻蚀机
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多晶硅蚀刻机/AMATC/用于晶圆生产蚀刻工艺 8486204100 [税目]
制造半导体器件或集成电路用等离子体干法刻蚀机
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