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84862022

物理气相沉积装置(PVD)

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介质膜蒸镀机镀锅 8486202200 [税目]
制造半导体器件或集成电路用物理气相沉积装置 [物理气相沉积装置]
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磁控溅射和电子束蒸发一体薄膜沉积系统;用于基片沉积制备金属或氧化物薄膜材料;进行膜层材料沉积,并可控制沉积膜层速率和厚度;DE 8486202200 [税目]
制造半导体器件或集成电路用物理气相沉积装置 [物理气相沉积装置]
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