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卧式氧化扩散炉管系统;SVCS;高温氧化制造半导体器件进行科研;高温环境下,将元素扩散入器件
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8486201000 [税目]
氧化、扩散、退火及其他热处理设备
[制造半导体器件或集成电路用的]
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13%
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预沉积扩散炉炉体
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8486201000 [税目]
氧化、扩散、退火及其他热处理设备
[制造半导体器件或集成电路用的]
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13%
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集成电路基板烘箱
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8486201000 [税目]
氧化、扩散、退火及其他热处理设备
[制造半导体器件或集成电路用的]
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13%
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高温烧结炉(可控气氛）
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8486201000 [税目]
氧化、扩散、退火及其他热处理设备
[制造半导体器件或集成电路用的]
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13%
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