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激光直写仪
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8486203900 [税目]
其他将电路图投影或绘制到感光半导体材料上的装置
[制造半导体器件或集成电路用的]
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13%
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匀胶旋涂仪
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8486209000 [税目]
其他制造半导体器件或集成电路用机器及装置
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13%
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物理气相沉积仪
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8486202200 [税目]
制造半导体器件或集成电路用物理气相沉积装置
[物理气相沉积装置]
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13%
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全自动磁控离子溅射仪
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8486202200 [税目]
制造半导体器件或集成电路用物理气相沉积装置
[物理气相沉积装置]
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13%
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双束聚焦离子束微纳加工仪
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8486209000 [税目]
其他制造半导体器件或集成电路用机器及装置
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13%
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