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84862

制造半导体器件或集成电路用的机器及装置:

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磁控溅射系统（镀膜专用） 8486202200 [税目]
制造半导体器件或集成电路用物理气相沉积装置 [物理气相沉积装置] 		13% 详情
太阳能电池片专用电烘箱 8486209000 [税目]
其他制造半导体器件或集成电路用机器及装置 		13% 详情