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84862

制造半导体器件或集成电路用的机器及装置:

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低介电阻挡层薄膜设备 8486202100 [税目]
制造半导体器件或集成电路用化学气相沉积装置 [化学气相沉积装置] 		13% 详情
晶元层压机及配件 8486204900 [税目]
其他制造半导体器件或集成电路用刻蚀及剥离设备 		13% 详情