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84862

制造半导体器件或集成电路用的机器及装置:

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Parylene沉积系统;在物体表面沉积一层分子膜,膜可用于表面防护,改善表面特性,表面介质;制备各种物质薄膜;SCS 8486202900 [税目]
其他制造半导体器件或集成电路用薄膜沉积设备
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原子沉积系统
第16类
机器、机械器具、电气设备及其零件;录音机及放声机、电视图像、声音的录制和重放设备及其零件
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核反应堆、锅炉、机器、机械器具及其零件
8486202100[税目]
制造半导体器件或集成电路用化学气相沉积装置 [化学气相沉积装置]
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8486202900[税目]
其他制造半导体器件或集成电路用薄膜沉积设备
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等离子体辅助原子沉积设备 8486209000 [税目]
其他制造半导体器件或集成电路用机器及装置
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电浆辅助原子沉积系统 8486202100 [税目]
制造半导体器件或集成电路用化学气相沉积装置 [化学气相沉积装置]
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低介电阻挡薄膜设备 8486202100 [税目]
制造半导体器件或集成电路用化学气相沉积装置 [化学气相沉积装置]
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原子沉积氮氧化硅炉 8486202100 [税目]
制造半导体器件或集成电路用化学气相沉积装置 [化学气相沉积装置]
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原子沉积氮化硅炉 8486202100 [税目]
制造半导体器件或集成电路用化学气相沉积装置 [化学气相沉积装置]
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介电零化学机械研磨设备 8486209000 [税目]
其他制造半导体器件或集成电路用机器及装置
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高介电常数介质材料盖帽生长设备 8486202100 [税目]
制造半导体器件或集成电路用化学气相沉积装置 [化学气相沉积装置]
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磁控溅射和电子束蒸发一体薄膜沉积系统;用于基片上沉积制备金属或氧化物薄膜材料;进行膜材料的沉积,并可控制沉积膜的速率和厚度;DE 8486202200 [税目]
制造半导体器件或集成电路用物理气相沉积装置 [物理气相沉积装置]
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静压机 8486202200 [税目]
制造半导体器件或集成电路用物理气相沉积装置 [物理气相沉积装置]
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