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84862

制造半导体器件或集成电路用的机器及装置:

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电镀膜沉积装置 8486202900 [税目]
其他制造半导体器件或集成电路用薄膜沉积设备 		13% 详情
电浆处理设备 8486204100 [税目]
制造半导体器件或集成电路用等离子体干法刻蚀机 		13% 详情
电浆清洗机
第16类
机器、机械器具、电气设备及其零件;录音机及放声机、电视图像、声音的录制和重放设备及其零件
84
核反应堆、锅炉、机器、机械器具及其零件
8486204100[税目]
制造半导体器件或集成电路用等离子体干法刻蚀机
13% 详情
8486204900[税目]
其他制造半导体器件或集成电路用刻蚀及剥离设备
13% 详情
电烘箱CO868-AA 8486201000 [税目]
氧化、扩散、退火及其他热处理设备 [制造半导体器件或集成电路用的] 		13% 详情
集成电路基板烘箱 8486201000 [税目]
氧化、扩散、退火及其他热处理设备 [制造半导体器件或集成电路用的] 		13% 详情
太阳能电池片专用电烘箱 8486209000 [税目]
其他制造半导体器件或集成电路用机器及装置 		13% 详情
等离子电浆清洗机 8486209000 [税目]
其他制造半导体器件或集成电路用机器及装置 		13% 详情
电浆清洁与表面处理系统 8486209000 [税目]
其他制造半导体器件或集成电路用机器及装置 		13% 详情
电浆辅助原子层沉积系统 8486202100 [税目]
制造半导体器件或集成电路用化学气相沉积装置 [化学气相沉积装置] 		13% 详情
群铠牌电浆清洗机 8486209000 [税目]
其他制造半导体器件或集成电路用机器及装置 		13% 详情
电浆辅助化学气相沉积系统 8486202100 [税目]
制造半导体器件或集成电路用化学气相沉积装置 [化学气相沉积装置] 		13% 详情
介电层零化学机械研磨设备 8486209000 [税目]
其他制造半导体器件或集成电路用机器及装置 		13% 详情