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显影装置
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8486204900 [税目]
其他制造半导体器件或集成电路用刻蚀及剥离设备
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13%
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热处理装置
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8486201000 [税目]
氧化、扩散、退火及其他热处理设备
[制造半导体器件或集成电路用的]
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13%
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热扩散装置
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8486201000 [税目]
氧化、扩散、退火及其他热处理设备
[制造半导体器件或集成电路用的]
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13%
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扩散氧化装置
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8486201000 [税目]
氧化、扩散、退火及其他热处理设备
[制造半导体器件或集成电路用的]
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13%
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光刻浸湿装置
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8486209000 [税目]
其他制造半导体器件或集成电路用机器及装置
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13%
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IC绘制装置
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8486203900 [税目]
其他将电路图投影或绘制到感光半导体材料上的装置
[制造半导体器件或集成电路用的]
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13%
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酸化膜成长装置
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8486202100 [税目]
制造半导体器件或集成电路用化学气相沉积装置
[化学气相沉积装置]
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13%
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详情
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电镀膜沉积装置
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8486202900 [税目]
其他制造半导体器件或集成电路用薄膜沉积设备
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13%
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快速热退火装置
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8486201000 [税目]
氧化、扩散、退火及其他热处理设备
[制造半导体器件或集成电路用的]
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13%
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详情
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化学气象沉积装置
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8486202100 [税目]
制造半导体器件或集成电路用化学气相沉积装置
[化学气相沉积装置]
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13%
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详情
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太阳能电池镀膜装置(旧)
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8486202100 [税目]
制造半导体器件或集成电路用化学气相沉积装置
[化学气相沉积装置]
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13%
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详情
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自动解封装置
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8486204900 [税目]
其他制造半导体器件或集成电路用刻蚀及剥离设备
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13%
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离子过滤装置
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8486205000 [税目]
制造半导体器件或集成电路用离子注入机
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13%
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详情
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离子注入装置
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8486205000 [税目]
制造半导体器件或集成电路用离子注入机
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13%
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涂布显影装置
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8486204900 [税目]
其他制造半导体器件或集成电路用刻蚀及剥离设备
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13%
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晶圆清洗装置
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8486209000 [税目]
其他制造半导体器件或集成电路用机器及装置
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13%
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化学品标准输送装置
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8486209000 [税目]
其他制造半导体器件或集成电路用机器及装置
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13%
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电路图绘制装置
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8486203900 [税目]
其他将电路图投影或绘制到感光半导体材料上的装置
[制造半导体器件或集成电路用的]
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13%
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干法蚀刻装置
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8486204100 [税目]
制造半导体器件或集成电路用等离子体干法刻蚀机
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13%
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CVD气体供应装置
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8486209000 [税目]
其他制造半导体器件或集成电路用机器及装置
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13%
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