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磁控溅射系统（镀膜专用）
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8486202200 [税目]
制造半导体器件或集成电路用物理气相沉积装置
[物理气相沉积装置]
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13%
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太阳能电池片专用电烘箱
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8486209000 [税目]
其他制造半导体器件或集成电路用机器及装置
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13%
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半导体零件洗净机
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8486209000 [税目]
其他制造半导体器件或集成电路用机器及装置
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13%
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芯片焊剂清洗机零件
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8486209000 [税目]
其他制造半导体器件或集成电路用机器及装置
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13%
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步进马达/固晶体零件
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8486209000 [税目]
其他制造半导体器件或集成电路用机器及装置
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13%
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编码器马达/固晶体零件
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8486209000 [税目]
其他制造半导体器件或集成电路用机器及装置
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13%
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