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84862

制造半导体器件或集成电路用的机器及装置:

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高真空电子束蒸镀系统(物理沉积/实验室 8486202200 [税目]
制造半导体器件或集成电路用物理气相沉积装置 [物理气相沉积装置]
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旧匀胶机(半导体分立器件生产线上 8486209000 [税目]
其他制造半导体器件或集成电路用机器及装置
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体温计电路板切割机切割主体(修理费 8486209000 [税目]
其他制造半导体器件或集成电路用机器及装置
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旋转涂胶机(旧/晶圆表面涂光刻胶 8486203900 [税目]
其他将电路图投影或绘制到感光半导体材料上的装置 [制造半导体器件或集成电路用的]
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磁控溅射系统(镀膜专用 8486202200 [税目]
制造半导体器件或集成电路用物理气相沉积装置 [物理气相沉积装置]
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小型发电系统(太阳能 8486209000 [税目]
其他制造半导体器件或集成电路用机器及装置
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高温烧结炉(可控气氛 8486201000 [税目]
氧化、扩散、退火及其他热处理设备 [制造半导体器件或集成电路用的]
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自动磨边机(成套散件 8486209000 [税目]
其他制造半导体器件或集成电路用机器及装置
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自动晶片贴片机(旧 8486209000 [税目]
其他制造半导体器件或集成电路用机器及装置
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离子注入机(第一部分 8486205000 [税目]
制造半导体器件或集成电路用离子注入机
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太阳能电池烘干炉 8486201000 [税目]
氧化、扩散、退火及其他热处理设备 [制造半导体器件或集成电路用的]
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材料沉积系统(实验室) 8486202100 [税目]
制造半导体器件或集成电路用化学气相沉积装置 [化学气相沉积装置]
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弹簧夹(光刻机) 8486203100 [税目]
制造半导体器件或集成电路用分步重复光刻机 [步进光刻机]
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镀膜机晶片盖板 8486202200 [税目]
制造半导体器件或集成电路用物理气相沉积装置 [物理气相沉积装置]
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高真空脉冲激光沉积系统(主机 8486202900 [税目]
其他制造半导体器件或集成电路用薄膜沉积设备
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等离子增强化学气象沉积系统(见清单 8486202100 [税目]
制造半导体器件或集成电路用化学气相沉积装置 [化学气相沉积装置]
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水平化学气相沉积装置(旧 8486202100 [税目]
制造半导体器件或集成电路用化学气相沉积装置 [化学气相沉积装置]
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电子束镀膜机(物理气相沉积装置 8486202200 [税目]
制造半导体器件或集成电路用物理气相沉积装置 [物理气相沉积装置]
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溅射台(物理气相沉积设备 8486202200 [税目]
制造半导体器件或集成电路用物理气相沉积装置 [物理气相沉积装置]
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全自动太阳能电池片印刷设备(标准线 8486209000 [税目]
其他制造半导体器件或集成电路用机器及装置
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