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84862

制造半导体器件或集成电路用的机器及装置:

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垂直扩散炉部件 8486201000 [税目]
氧化、扩散、退火及其他热处理设备 [制造半导体器件或集成电路用的] 		13% 详情
气体混合柜成套散件/RESI 8486202100 [税目]
制造半导体器件或集成电路用化学气相沉积装置 [化学气相沉积装置] 		13% 详情