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84862

制造半导体器件或集成电路用的机器及装置:

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气浮导轨 8486204100 [税目]
制造半导体器件或集成电路用等离子体干法刻蚀机
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湿膜滚轮涂布烘烤设备 8486209000 [税目]
其他制造半导体器件或集成电路用机器及装置
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