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磁控溅射系统（镀膜专用）
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8486202200 [税目]
制造半导体器件或集成电路用物理气相沉积装置
[物理气相沉积装置]
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13%
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小型发电系统（太阳能）
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8486209000 [税目]
其他制造半导体器件或集成电路用机器及装置
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13%
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高温烧结炉(可控气氛）
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8486201000 [税目]
氧化、扩散、退火及其他热处理设备
[制造半导体器件或集成电路用的]
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13%
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自动磨边机（成套散件）
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8486209000 [税目]
其他制造半导体器件或集成电路用机器及装置
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13%
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自动晶片贴片机（旧）
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8486209000 [税目]
其他制造半导体器件或集成电路用机器及装置
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13%
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离子注入机（第一部分）
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8486205000 [税目]
制造半导体器件或集成电路用离子注入机
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13%
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高真空脉冲激光沉积系统（主机）
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8486202900 [税目]
其他制造半导体器件或集成电路用薄膜沉积设备
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13%
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等离子增强化学气象沉积系统（见清单）
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8486202100 [税目]
制造半导体器件或集成电路用化学气相沉积装置
[化学气相沉积装置]
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13%
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水平化学气相沉积装置(旧）
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8486202100 [税目]
制造半导体器件或集成电路用化学气相沉积装置
[化学气相沉积装置]
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13%
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高真空电子束蒸镀系统（物理沉积/实验室用）
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8486202200 [税目]
制造半导体器件或集成电路用物理气相沉积装置
[物理气相沉积装置]
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13%
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电子束镀膜机（物理气相沉积装置）
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8486202200 [税目]
制造半导体器件或集成电路用物理气相沉积装置
[物理气相沉积装置]
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13%
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溅射台（物理气相沉积设备）
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8486202200 [税目]
制造半导体器件或集成电路用物理气相沉积装置
[物理气相沉积装置]
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13%
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旧匀胶机（半导体分立器件生产线上用）
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8486209000 [税目]
其他制造半导体器件或集成电路用机器及装置
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13%
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全自动太阳能电池片印刷设备（标准线）
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8486209000 [税目]
其他制造半导体器件或集成电路用机器及装置
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13%
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全自动太阳能电池片印刷设备（柔性线）
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8486209000 [税目]
其他制造半导体器件或集成电路用机器及装置
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13%
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体温计电路板切割机用切割主体（修理费）
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8486209000 [税目]
其他制造半导体器件或集成电路用机器及装置
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13%
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光阻涂布机（TEL牌）
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8486202900 [税目]
其他制造半导体器件或集成电路用薄膜沉积设备
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13%
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硅片甩干机（旧）/使硅片干燥
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8486209000 [税目]
其他制造半导体器件或集成电路用机器及装置
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13%
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旋转涂胶机（旧）/晶圆表面涂光刻胶用
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8486203900 [税目]
其他将电路图投影或绘制到感光半导体材料上的装置
[制造半导体器件或集成电路用的]
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13%
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湿法去胶机（旧）/溶解硅片表面多余光刻胶
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8486204900 [税目]
其他制造半导体器件或集成电路用刻蚀及剥离设备
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13%
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