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84862

制造半导体器件或集成电路用的机器及装置:

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热压印及紫外压印一体纳米压印设备 8486203900 [税目]
其他将电路图投影或绘制到感光半导体材料上的装置 [制造半导体器件或集成电路用的]
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高精度光刻胶248纳米涂布显影机 8486203900 [税目]
其他将电路图投影或绘制到感光半导体材料上的装置 [制造半导体器件或集成电路用的]
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高精度光刻胶365纳米涂布显影机 8486203900 [税目]
其他将电路图投影或绘制到感光半导体材料上的装置 [制造半导体器件或集成电路用的]
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激光直写 8486203900 [税目]
其他将电路图投影或绘制到感光半导体材料上的装置 [制造半导体器件或集成电路用的]
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匀胶旋涂 8486209000 [税目]
其他制造半导体器件或集成电路用机器及装置
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物理气相沉积 8486202200 [税目]
制造半导体器件或集成电路用物理气相沉积装置 [物理气相沉积装置]
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全自动磁控离子溅射 8486202200 [税目]
制造半导体器件或集成电路用物理气相沉积装置 [物理气相沉积装置]
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双束聚焦离子束微纳加工 8486209000 [税目]
其他制造半导体器件或集成电路用机器及装置
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