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84862

制造半导体器件或集成电路用的机器及装置:

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卧式氧化扩散炉管系统;SVCS;高温氧化制造半导体器件进行科研;高温环境下,将元素扩散入器件 8486201000 [税目]
氧化、扩散、退火及其他热处理设备 [制造半导体器件或集成电路用的] 		13% 详情
晶元层压机及配件 8486204900 [税目]
其他制造半导体器件或集成电路用刻蚀及剥离设备 		13% 详情
离子注入机静电吸盘驱动座 8486209000 [税目]
其他制造半导体器件或集成电路用机器及装置 		13% 详情