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84862

制造半导体器件或集成电路用的机器及装置:

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旧匀胶机（半导体分立器件生产线上用） 8486209000 [税目]
其他制造半导体器件或集成电路用机器及装置 		13% 详情
离子束辅助沉积镀膜系统;辅助红外器件镀膜;沉淀金属;牛津 8486202200 [税目]
制造半导体器件或集成电路用物理气相沉积装置 [物理气相沉积装置] 		13% 详情
高功率脉冲磁控溅射沉积系统 8486202200 [税目]
制造半导体器件或集成电路用物理气相沉积装置 [物理气相沉积装置] 		13% 详情
卧式氧化扩散炉管系统;SVCS;高温氧化制造半导体器件进行科研;高温环境下,将元素扩散入器件 8486201000 [税目]
氧化、扩散、退火及其他热处理设备 [制造半导体器件或集成电路用的] 		13% 详情
卧式低压化学气相沉积炉管系统;制造器件沉积薄膜;低压化学气相沉积;SVCS 8486202100 [税目]
制造半导体器件或集成电路用化学气相沉积装置 [化学气相沉积装置] 		13% 详情