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84862

制造半导体器件或集成电路用的机器及装置:

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垂直扩散炉部件 8486201000 [税目]
氧化、扩散、退火及其他热处理设备 [制造半导体器件或集成电路用的]
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离子注入机静电吸盘转移 8486209000 [税目]
其他制造半导体器件或集成电路用机器及装置
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