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84862

制造半导体器件或集成电路用的机器及装置:

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二氧化碳发泡机 8486202200 [税目]
制造半导体器件或集成电路用物理气相沉积装置 [物理气相沉积装置]
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二氧化碳电离型号标记机/新 8486209000 [税目]
其他制造半导体器件或集成电路用机器及装置
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晶元层压机及配件 8486204900 [税目]
其他制造半导体器件或集成电路用刻蚀及剥离设备
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