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专用于或主要用于制造半导体单晶柱或晶圆、半导体器件、集成电路或平板显示器的机器及装置;本章注释九(三)规定的机器及装置;零件及附件:

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红外线烘烤炉 8486301000 [税目]
制造平板显示器用扩散、氧化、退火及其他热处理设备 		13% 详情
IR红外线加热装置,蒸发玻璃基板上的水份并恒温,通过红外线照射对玻璃基板加热,CLEAN 8486301000 [税目]
制造平板显示器用扩散、氧化、退火及其他热处理设备 		13% 详情