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8486

专用于或主要用于制造半导体单晶柱或晶圆、半导体器件、集成电路或平板显示器的机器及装置;本章注释九(三)规定的机器及装置;零件及附件:

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等离子增强化学气相沉积系统;实验室薄膜制备;AIXTRON Ltd;固体样品气化后沉积在固体基体表面,用于薄膜制备 8486302100 [税目]
制造平板显示器用化学气相沉积装置
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玻璃基板光罩清洗机;清洗玻璃基板的光罩;除去玻璃基板光罩微尘颗粒化学沾;TOHO 8486304900 [税目]
其他制造平板显示器用湿法蚀刻、显影、剥离、清洗装置
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