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多道线切割机及备件（详见清单）
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8486103000 [税目]
制造单晶柱或晶圆用的切割设备
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13%
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电子束镀膜机（物理气相沉积装置）
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8486202200 [税目]
制造半导体器件或集成电路用物理气相沉积装置
[物理气相沉积装置]
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13%
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溅射台（物理气相沉积设备）
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8486202200 [税目]
制造半导体器件或集成电路用物理气相沉积装置
[物理气相沉积装置]
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13%
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旧匀胶机（半导体分立器件生产线上用）
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8486209000 [税目]
其他制造半导体器件或集成电路用机器及装置
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13%
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全自动太阳能电池片印刷设备（标准线）
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8486209000 [税目]
其他制造半导体器件或集成电路用机器及装置
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13%
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全自动太阳能电池片印刷设备（柔性线）
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8486209000 [税目]
其他制造半导体器件或集成电路用机器及装置
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13%
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体温计电路板切割机用切割主体（修理费）
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8486209000 [税目]
其他制造半导体器件或集成电路用机器及装置
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13%
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旧清洗机（半导体分立器件生产线上用）
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8486304100 [税目]
制造平板显示器用超声波清洗装置
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13%
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全自动压焊机（引线键合装置）
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8486402200 [税目]
引线键合装置
[主要用于或专用于装配与封装半导体器件和集成电路的设备]
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13%
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全自动固晶机（附一套专用工具）
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8486402900 [税目]
其他主要或专用于装配封装半导体器件和集成电路的设备
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13%
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光阻涂布机（TEL牌）
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8486202900 [税目]
其他制造半导体器件或集成电路用薄膜沉积设备
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13%
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ASM高速引线键合机（旧）
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8486402290 [税目]
其他引线键合装置
[主要用于或专用于装配与封装半导体器件和集成电路的设备]
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17%
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硅片甩干机（旧）/使硅片干燥
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8486209000 [税目]
其他制造半导体器件或集成电路用机器及装置
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13%
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上模模具镶条（塑封机零配件）
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8486909900 [税目]
其他品目8486项下商品用零件和附件
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13%
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微调机专用零件（3225点焊支架）
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8486909900 [税目]
其他品目8486项下商品用零件和附件
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13%
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编码器（半导体平行封帽机专用零件）
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8486909900 [税目]
其他品目8486项下商品用零件和附件
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13%
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封胶使用成型模窝片（旧）
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8486909900 [税目]
其他品目8486项下商品用零件和附件
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13%
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塑封机模具用定位针（旧）
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8486909900 [税目]
其他品目8486项下商品用零件和附件
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13%
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半导体制造扩散炉专用零件（数据输入输出功能板）
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8486909900 [税目]
其他品目8486项下商品用零件和附件
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13%
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半导体制造离子注入机用零件（离子源腔体）
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8486909900 [税目]
其他品目8486项下商品用零件和附件
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13%
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