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固晶机零件:功能模块
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8486909900 [税目]
其他品目8486项下商品用零件和附件
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刻蚀机零件(石英盘)
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光刻机零件（激光管）
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离子注入机零件/探针
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离子注入机零件/圆盘
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离子植入机零件(夹子)
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彩膜曝光机零件
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干法刻蚀机零件
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干式蚀刻机零件
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光刻机零件夹具单元
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光刻机零件椭圆镜
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塑封机零件：下模
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塑封机零件(成型块)
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衬板(切片机用零件)
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晶托(切片机用零件)
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化学机械抛光机用零件
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研磨机用零件(气压盘)
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扩散炉用零件/盖板
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塑封机用成型模具－晶体管塑封机用零件
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盛液器(品牌TKL,制造半导体的匀胶机专用零件,已制成特
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