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光罩托架(品牌:KLA-TENCOR,光掩膜缺陷分析仪专用零件,不锈钢制,用在光罩平台上承托光罩用) 9031900090 [税目]
品目9031的仪器及器具的其他零件 [第90章其他品目未列名的] 		13% 详情
光刻机;Midas;将设计图形线路利用激光直写在涂有光刻胶之芯片等基材上;在掩膜板与光刻胶之间使用光学系统聚焦光实现曝光 8486303900 [税目]
其他将电路图投影或绘制到感光半导体材料上的装置 [制造平板显示器用的机器及装置] 		13% 详情