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8486

专用于或主要用于制造半导体单晶柱或晶圆、半导体器件、集成电路或平板显示器的机器及装置;本章注释九(三)规定的机器及装置;零件及附件:

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无掩膜直写光刻机;Midrotechnik GmbH;将设计图形线路利用激光直写在涂有光刻胶之芯片等基材上;在掩膜板与光刻胶之间使用光学系统聚集光实现曝光 8486303900 [税目]
其他将电路图投影或绘制到感光半导体材料上的装置 [制造平板显示器用的机器及装置] 		13% 详情