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8486202

薄膜沉积设备:

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射频发生器(CVD装置)105# 8486202100 [税目]
制造半导体器件或集成电路用化学气相沉积装置 [化学气相沉积装置]
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射频发生器(CVD装置)104# 8486202100 [税目]
制造半导体器件或集成电路用化学气相沉积装置 [化学气相沉积装置]
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射频发生器(CVD装置)4016# 8486202100 [税目]
制造半导体器件或集成电路用化学气相沉积装置 [化学气相沉积装置]
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高真空电子束蒸镀系统(物理沉积/实验室 8486202200 [税目]
制造半导体器件或集成电路用物理气相沉积装置 [物理气相沉积装置]
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制造半导体器件或集成电路物理气相沉积装置 8486202200 [税目]
制造半导体器件或集成电路用物理气相沉积装置 [物理气相沉积装置]
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制造半导体器件或集成电路化学气相沉积装置 8486202100 [税目]
制造半导体器件或集成电路用化学气相沉积装置 [化学气相沉积装置]
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其他制造半导体器件或集成电路薄膜沉积设备 8486202900 [税目]
其他制造半导体器件或集成电路用薄膜沉积设备
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