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8486204

刻蚀及剥离设备:

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应力修正技术等离子刻蚀 8486204100 [税目]
制造半导体器件或集成电路用等离子体干法刻蚀机
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反应式干法等离子蚀刻 8486204100 [税目]
制造半导体器件或集成电路用等离子体干法刻蚀机
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干式光阻去除 8486204100 [税目]
制造半导体器件或集成电路用等离子体干法刻蚀机
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等离子刻蚀(志圣牌) 8486204100 [税目]
制造半导体器件或集成电路用等离子体干法刻蚀机
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晶元层压及配件 8486204900 [税目]
其他制造半导体器件或集成电路用刻蚀及剥离设备
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喷射腐蚀雕刻晶元 8486204900 [税目]
其他制造半导体器件或集成电路用刻蚀及剥离设备
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RIE干法制绒腐蚀 8486204900 [税目]
其他制造半导体器件或集成电路用刻蚀及剥离设备
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电感耦合式干法等离子蚀刻 8486204100 [税目]
制造半导体器件或集成电路用等离子体干法刻蚀机
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干式光阻去除/Mattson牌 8486204100 [税目]
制造半导体器件或集成电路用等离子体干法刻蚀机
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深干法硅微结构离子刻蚀 8486204100 [税目]
制造半导体器件或集成电路用等离子体干法刻蚀机
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干法刻蚀(旧)/使被刻蚀材料表面形成特定图案 8486204100 [税目]
制造半导体器件或集成电路用等离子体干法刻蚀机
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湿法刻蚀(旧)/利用化学反应在硅片表面形成图案 8486204900 [税目]
其他制造半导体器件或集成电路用刻蚀及剥离设备
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