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8486204

刻蚀及剥离设备:

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干式光阻去除机/Mattson牌 8486204100 [税目]
制造半导体器件或集成电路用等离子体干法刻蚀机 		13% 详情
深干法硅微结构离子刻蚀机 8486204100 [税目]
制造半导体器件或集成电路用等离子体干法刻蚀机 		13% 详情
湿法去胶机（旧）/溶解硅片表面多余光刻胶 8486204900 [税目]
其他制造半导体器件或集成电路用刻蚀及剥离设备 		13% 详情
其他制造半导体器件或集成电路用刻蚀及剥离设备 8486204900 [税目]
其他制造半导体器件或集成电路用刻蚀及剥离设备 		13% 详情
干法刻蚀机(旧)/使被刻蚀材料表面形成特定图案 8486204100 [税目]
制造半导体器件或集成电路用等离子体干法刻蚀机 		13% 详情
湿法刻蚀机(旧)/利用化学反应在硅片表面形成图案 8486204900 [税目]
其他制造半导体器件或集成电路用刻蚀及剥离设备 		13% 详情
多晶硅蚀刻机/AMATC牌/用于晶圆生产蚀刻工艺 8486204100 [税目]
制造半导体器件或集成电路用等离子体干法刻蚀机 		13% 详情