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热退火系统零件(机械手)
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8486909900 [税目]
其他品目8486项下商品用零件和附件
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13%
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在线系统用连轴器
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8486909900 [税目]
其他品目8486项下商品用零件和附件
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13%
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在线系统用定位针
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8486909900 [税目]
其他品目8486项下商品用零件和附件
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13%
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磁控溅射系统(镀膜专用)
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8486202200 [税目]
制造半导体器件或集成电路用物理气相沉积装置
[物理气相沉积装置]
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13%
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硅脂涂覆系统组件
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8486901000 [税目]
升降、搬运、装卸机器用零件或附件
[子目848640项下商品用,但自动搬运设备用除外]
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13%
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材料沉积系统(实验室用)
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8486202100 [税目]
制造半导体器件或集成电路用化学气相沉积装置
[化学气相沉积装置]
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13%
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小型发电系统(太阳能)
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8486209000 [税目]
其他制造半导体器件或集成电路用机器及装置
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13%
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液晶面板切割用在线系统
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8486403900 [税目]
其他用于升降、装卸、搬运集成电路等的设备
[升降、装卸、搬运单晶柱、晶圆、半导体器件、集成电路和平板显示器的装置]
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13%
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嵌入式皮带输送缓冲系统
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8486403900 [税目]
其他用于升降、装卸、搬运集成电路等的设备
[升降、装卸、搬运单晶柱、晶圆、半导体器件、集成电路和平板显示器的装置]
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13%
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前电极磁控溅射沉积系统
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8486202200 [税目]
制造半导体器件或集成电路用物理气相沉积装置
[物理气相沉积装置]
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13%
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感应耦合等离子体刻蚀系统
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8486204100 [税目]
制造半导体器件或集成电路用等离子体干法刻蚀机
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13%
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液晶面板显影液循环供给系统
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8486309000 [税目]
其他制造平板显示器用的机器及装置
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13%
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等离子体CVD纳米材料生长系统
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8486202100 [税目]
制造半导体器件或集成电路用化学气相沉积装置
[化学气相沉积装置]
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13%
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IBE139HD嵌入式输送缓冲系统
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8486403900 [税目]
其他用于升降、装卸、搬运集成电路等的设备
[升降、装卸、搬运单晶柱、晶圆、半导体器件、集成电路和平板显示器的装置]
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13%
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酸性蚀刻自动添加系统
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8486204100 [税目]
制造半导体器件或集成电路用等离子体干法刻蚀机
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13%
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连续式电子束蒸发系统
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8486202100 [税目]
制造半导体器件或集成电路用化学气相沉积装置
[化学气相沉积装置]
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13%
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液晶面板彩膜在线系统
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8486403900 [税目]
其他用于升降、装卸、搬运集成电路等的设备
[升降、装卸、搬运单晶柱、晶圆、半导体器件、集成电路和平板显示器的装置]
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13%
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有机物及金属沉积系统
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8486202900 [税目]
其他制造半导体器件或集成电路用薄膜沉积设备
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13%
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多功能离子束联合溅射系统
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8486202200 [税目]
制造半导体器件或集成电路用物理气相沉积装置
[物理气相沉积装置]
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13%
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全自动硅片搬送系统
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8486403900 [税目]
其他用于升降、装卸、搬运集成电路等的设备
[升降、装卸、搬运单晶柱、晶圆、半导体器件、集成电路和平板显示器的装置]
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13%
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