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8486203

将电路图投影或绘制到感光半导体材料上的装置:

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制造半导体器件和集成电路拷贝机/拷贝资料或消除数 8486203100 [税目]
制造半导体器件或集成电路用分步重复光刻机 [步进光刻机]
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