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8486

专用于或主要用于制造半导体单晶柱或晶圆、半导体器件、集成电路或平板显示器的机器及装置;本章注释九(三)规定的机器及装置;零件及附件:

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干法刻蚀机零件（硅片夹） 8486909900 [税目]
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干法刻蚀机零件（挡板盖） 8486909900 [税目]
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干法刻蚀机零件（托盘盖板） 8486909900 [税目]
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干法刻蚀机零件（带状挡板） 8486909900 [税目]
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干法刻蚀机零件（中挡板） 8486909900 [税目]
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干法刻蚀机零件（下挡板） 8486909900 [税目]
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干法刻蚀机零件（上挡板） 8486909900 [税目]
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离子注入机用零件（保护套/固定件） 8486909900 [税目]
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晶片研磨机用零件（金属托板） 8486909900 [税目]
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晶片研磨机用零件（手动操作板） 8486909900 [税目]
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微调机专用零件（3225点焊支架） 8486909900 [税目]
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编码器（半导体平行封帽机专用零件） 8486909900 [税目]
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工艺零件 8486909900 [税目]
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抛光机零件 8486909900 [税目]
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精加工零件 8486909900 [税目]
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半导体制造扩散炉专用零件（数据输入输出功能板） 8486909900 [税目]
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半导体制造离子注入机用零件（离子源腔体） 8486909900 [税目]
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半导体制造离子注入机用零件（离子源弧室） 8486909900 [税目]
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半导体制造化学气相沉积炉用零件（信号输入输出板） 8486909900 [税目]
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8度电极头（晶振封装机专用零件） 8486909900 [税目]
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