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晶片铜盘抛光机（旧）
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8486104000 [税目]
制造单晶柱或晶圆用的化学机械抛光设备
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13%
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晶片化学机械抛光机（旧）
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8486104000 [税目]
制造单晶柱或晶圆用的化学机械抛光设备
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13%
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多线切片机及备件（详见清单）
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8486103000 [税目]
制造单晶柱或晶圆用的切割设备
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13%
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离子注入机（第一部分）
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8486205000 [税目]
制造半导体器件或集成电路用离子注入机
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13%
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步进光刻机零件（激光管）
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8486909900 [税目]
其他品目8486项下商品用零件和附件
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13%
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自动剪切成型机（旧）
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8486402900 [税目]
其他主要或专用于装配封装半导体器件和集成电路的设备
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13%
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切筋模具（旧）的修理费
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8486909900 [税目]
其他品目8486项下商品用零件和附件
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13%
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发光二极管封装用模具（旧）
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8486909900 [税目]
其他品目8486项下商品用零件和附件
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13%
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微调机专用零件（3225打标托盘）
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8486909900 [税目]
其他品目8486项下商品用零件和附件
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13%
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铝制盖子（化学气相沉积装置零件）
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8486909900 [税目]
其他品目8486项下商品用零件和附件
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13%
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引线键合设备零件（气体控制器）
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8486902000 [税目]
引线键合装置用零件或附件
[子目848640项下商品用]
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13%
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升降平台车用零件（焊接结构件）
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8486901000 [税目]
升降、搬运、装卸机器用零件或附件
[子目848640项下商品用,但自动搬运设备用除外]
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13%
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等离子清洗机用零件（连接件）
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8486909900 [税目]
其他品目8486项下商品用零件和附件
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13%
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离子注入机专用零件（连接杆）
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8486909900 [税目]
其他品目8486项下商品用零件和附件
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13%
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水晶波频调节机零件（真空测定子）
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8486909900 [税目]
其他品目8486项下商品用零件和附件
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13%
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化学气相沉淀机零件（固定环等）
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8486909900 [税目]
其他品目8486项下商品用零件和附件
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13%
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减反射镀膜机用零件（气体分隔板）
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8486909900 [税目]
其他品目8486项下商品用零件和附件
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13%
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曝光式二维码打码机零件（紫外光发射器）
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8486909900 [税目]
其他品目8486项下商品用零件和附件
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13%
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半导体制造溅射台用零件（挡板）
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8486909900 [税目]
其他品目8486项下商品用零件和附件
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13%
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半导体制造刻蚀机用零件（硅片压紧环）
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8486909900 [税目]
其他品目8486项下商品用零件和附件
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