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8486

专用于或主要用于制造半导体单晶柱或晶圆、半导体器件、集成电路或平板显示器的机器及装置;本章注释九(三)规定的机器及装置;零件及附件:

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激光退火设备用静电吸附盘 8486909900 [税目]
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轴配线盘组品 8486909900 [税目]
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真空贴合设备用上定盘 8486909900 [税目]
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靶盘手指形挡把 8486909900 [税目]
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离子注入机专用导热盘 8486909900 [税目]
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卡匣淬盘清洗机 8486304100 [税目]
制造平板显示器用超声波清洗装置 		13% 详情
集成电路刻蚀设备用导流盘 8486909900 [税目]
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LED晶圆研磨机专用研磨盘 8486909900 [税目]
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离子注入机零部件(靶盘)/旧 8486909900 [税目]
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物理气象沉积设备专用反射盘 8486909900 [税目]
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双轴基板切割机零件：集成电路切割盘 8486909900 [税目]
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半导体切割设备用零件(工作盘,CHUCK TABLE) 8486909900 [税目]
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封止炉零件:封止盘治具 8486909900 [税目]
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光刻机专用零件/腔体,盘等 8486909900 [税目]
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手动晶片陶瓷盘清洗机（旧） 8486109000 [税目]
其他制造单晶柱或晶圆用的机器及装置 		13% 详情
半导体化学气相沉积设备专用硅片吸附盘 8486909900 [税目]
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化学气相沉积设备专用喷盘 8486909900 [税目]
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气体分配盘/化学气相沉积设备配件 8486909900 [税目]
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水路分配盘(AXCELIS,塑料制,已制成特定形状,离子注入 8486909900 [税目]
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研磨盘护圈(EBARA,化学研磨机零件,塑料制,安装在机台 8486909900 [税目]
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