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传感器感测对象光/有信号处理装置传感器的修理费传感头感测对象光无信号处理装置传感头感测对象物体位置/无信号处理装置位置传感器(ASML,通过电磁感应原理感应来判断硅片的运动位置,未装有读数装置,光刻机专用) 位置传感器(ASML,通过电磁感应原理感应来确定硅片平台运动位置,未装有读数装置,光刻机专用) 位置传感器(ASML,通过电磁感应原理感应来确定硅片平台运动位置,未装有读数装置,光刻机专用零件) 位置传感器(ASML,通过电磁感应原理感应金属物的位置,未装有读数装置,光刻机专用零件) 位置传感器(ASML,通过电磁感应原理感应马达移动的位置,未装有读数装置,光刻机专用) 位置传感器(ASML,通过电磁感应原理校准硅片在硅片平台上的位置,未装有读数装置,光刻机专用) 位置传感器(VARIAN,通过光电原理感应部件位置用, 位置传感器(VARIAN,通过光电原理感应部件位置用,无测位置传感器(品牌:ASM,通过光电原理感应晶片是否到指定位置,制造晶片的外延炉用零件) 位置信号传感器组件(品牌:KLA-TENCOR,晶片缺陷检测仪用,由传感器,电缆,固定件和保护外壳组成,通过磁电感应原理感应并传输晶片位置信号) 便携式烟气采样预处理器信令测试仪(修理费) 信号器的传感装置修理费信号处理传输板(用于光刻机中的光罩检测系统,计算光罩信号处理器信号处理模块

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