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84862

制造半导体器件或集成电路用的机器及装置:

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制造半导体器件或集成电路用分步重复光刻机 8486203100 [税目]
制造半导体器件或集成电路用分步重复光刻机 [步进光刻机]
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制造半导体器件或集成电路用化学气相沉积装置 8486202100 [税目]
制造半导体器件或集成电路用化学气相沉积装置 [化学气相沉积装置]
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其他制造半导体器件或集成电路用薄膜沉积设备 8486202900 [税目]
其他制造半导体器件或集成电路用薄膜沉积设备
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制造半导体器件和集成电路用拷贝机/拷贝资料或消除数 8486203100 [税目]
制造半导体器件或集成电路用分步重复光刻机 [步进光刻机]
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集成电路全自动贴胶,切脚-成阶-切断-堆垛机 8486209000 [税目]
其他制造半导体器件或集成电路用机器及装置
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影像检查平行光曝光机 8486209000 [税目]
其他制造半导体器件或集成电路用机器及装置
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半自动接触晶圆贴膜机 8486209000 [税目]
其他制造半导体器件或集成电路用机器及装置
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掺杂多晶硅沉积炉 8486202100 [税目]
制造半导体器件或集成电路用化学气相沉积装置 [化学气相沉积装置]
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自动对位防焊平行光曝光机 8486203900 [税目]
其他将电路图投影或绘制到感光半导体材料上的装置 [制造半导体器件或集成电路用的]
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