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84862

制造半导体器件或集成电路用的机器及装置:

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扫描式光刻机配套涂胶显影机设备 8486209000 [税目]
其他制造半导体器件或集成电路用机器及装置 		13% 详情
沉浸式光刻机配套涂胶显影机 8486209000 [税目]
其他制造半导体器件或集成电路用机器及装置 		13% 详情
电感耦合式干法等离子蚀刻机 8486204100 [税目]
制造半导体器件或集成电路用等离子体干法刻蚀机 		13% 详情
干式光阻去除机/Mattson牌 8486204100 [税目]
制造半导体器件或集成电路用等离子体干法刻蚀机 		13% 详情
团簇式多腔体等离子增强化学气相沉积系统 8486202100 [税目]
制造半导体器件或集成电路用化学气相沉积装置 [化学气相沉积装置] 		13% 详情