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机械手(VARIAN,安装在真空腔体内的机械手臂,在电机的驱动下托起和传送晶圆到其他位置用,非片动,不具有独立功能,已制成特定形状,离子注入机专用零件)
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8486901000 [税目]
升降、搬运、装卸机器用零件或附件
[子目848640项下商品用,但自动搬运设备用除外]
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13%
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取片叉组件(品牌:KLA-TENCOR,传动机械手臂专用零件,由四个取片叉组成,铝制,带塑料底座及电缆,用于机械臂前端叉取晶片)
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8486901000 [税目]
升降、搬运、装卸机器用零件或附件
[子目848640项下商品用,但自动搬运设备用除外]
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13%
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IC工厂专用的自动搬运机器人专用平衡块
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8486909900 [税目]
其他品目8486项下商品用零件和附件
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13%
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IC工厂专用的自动搬运机器人专用盖板
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8486909900 [税目]
其他品目8486项下商品用零件和附件
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13%
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自动搬运机专用盖板
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8486909900 [税目]
其他品目8486项下商品用零件和附件
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13%
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离子注入机专用盖板
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8486909900 [税目]
其他品目8486项下商品用零件和附件
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13%
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离子注入机专用零部件
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8486909900 [税目]
其他品目8486项下商品用零件和附件
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13%
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等离子体刻蚀机专用零部件
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8486909900 [税目]
其他品目8486项下商品用零件和附件
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13%
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硅片传送机械手专用零部件
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8486901000 [税目]
升降、搬运、装卸机器用零件或附件
[子目848640项下商品用,但自动搬运设备用除外]
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13%
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化学机械抛光机专用零部件
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8486909900 [税目]
其他品目8486项下商品用零件和附件
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13%
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扩散炉专用速度控制板
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8486909900 [税目]
其他品目8486项下商品用零件和附件
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13%
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半导体清洗机专用支架
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8486909900 [税目]
其他品目8486项下商品用零件和附件
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13%
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半导体溅射台专用挡板
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8486909900 [税目]
其他品目8486项下商品用零件和附件
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半导体清洗机专用手柄
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8486909900 [税目]
其他品目8486项下商品用零件和附件
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半导体去胶机专用电路板
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8486909900 [税目]
其他品目8486项下商品用零件和附件
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13%
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LED研磨机专用研磨盘
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8486909900 [税目]
其他品目8486项下商品用零件和附件
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13%
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晶片贴膜机专用工作台
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8486909900 [税目]
其他品目8486项下商品用零件和附件
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刻蚀机专用电离针
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8486909900 [税目]
其他品目8486项下商品用零件和附件
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芯片粘贴机专用打印头
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8486909900 [税目]
其他品目8486项下商品用零件和附件
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13%
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曝光机专用弯曲板
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8486909900 [税目]
其他品目8486项下商品用零件和附件
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