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84862

制造半导体器件或集成电路用的机器及装置:

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清洗机(旧) 8486209000 [税目]
其他制造半导体器件或集成电路用机器及装置
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沉积高温氧化膜炉管 8486201000 [税目]
氧化、扩散、退火及其他热处理设备 [制造半导体器件或集成电路用的]
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沉积氧化膜炉管 8486201000 [税目]
氧化、扩散、退火及其他热处理设备 [制造半导体器件或集成电路用的]
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可配置卷绕镀膜设备系统 8486202200 [税目]
制造半导体器件或集成电路用物理气相沉积装置 [物理气相沉积装置]
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压着紫外线曝光机 8486203900 [税目]
其他将电路图投影或绘制到感光半导体材料上的装置 [制造半导体器件或集成电路用的]
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单片氮化硅去除设备 8486204900 [税目]
其他制造半导体器件或集成电路用刻蚀及剥离设备
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高真空热阻蒸镀机 8486202200 [税目]
制造半导体器件或集成电路用物理气相沉积装置 [物理气相沉积装置]
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光阻去除机 8486204100 [税目]
制造半导体器件或集成电路用等离子体干法刻蚀机
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制电路板叠收板机 8486209000 [税目]
其他制造半导体器件或集成电路用机器及装置
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300毫米晶圆湿法槽洗净装置 8486204900 [税目]
其他制造半导体器件或集成电路用刻蚀及剥离设备
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沉积低压厚膜氮化硅炉管 8486201000 [税目]
氧化、扩散、退火及其他热处理设备 [制造半导体器件或集成电路用的]
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扫描光刻机配套涂胶显影机设备 8486209000 [税目]
其他制造半导体器件或集成电路用机器及装置
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沉浸光刻机配套涂胶显影机 8486209000 [税目]
其他制造半导体器件或集成电路用机器及装置
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电感耦合干法等离子蚀刻机 8486204100 [税目]
制造半导体器件或集成电路用等离子体干法刻蚀机
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光阻去除机/Mattson牌 8486204100 [税目]
制造半导体器件或集成电路用等离子体干法刻蚀机
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300毫米晶圆湿法槽氮化膜去除装置 8486204900 [税目]
其他制造半导体器件或集成电路用刻蚀及剥离设备
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团簇多腔体等离子增强化学气相沉积系统 8486202100 [税目]
制造半导体器件或集成电路用化学气相沉积装置 [化学气相沉积装置]
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