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9031

本章其他税号未列名的测量或检验仪器、器具及机器;轮廓投影仪:

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光路调整组件(品牌:KLA-TENCOR,晶片缺陷检测专用零件,由反射镜,马达和固定支架组成,通过调整反射镜位置,改变反射镜对光线的折射角度,从而实现对光路的调整) 9031900090 [税目]
品目9031的仪器及器具的其他零件 [第90章其他品目未列名的]
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光束调整组件(品牌:KLA-TENCOR,晶片缺陷检测专用零件,由反光镜,直流马达,马达控制器,底座和气管组成,马达带动反光镜放置形成均匀的光束) 9031900090 [税目]
品目9031的仪器及器具的其他零件 [第90章其他品目未列名的]
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位置传感器(品牌:ASM,通过光电原理感应晶片是否到指定位置,制造晶片的外延炉用零件) 9031499090 [税目]
其他光学测量或检验仪器和器具 [第90章其他税目未列名的]
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光路反射组件(KLA-TENCOR,晶片缺陷检测专用零件,由已装配反射镜和气缸组成,用于光路的反射) 9031900090 [税目]
品目9031的仪器及器具的其他零件 [第90章其他品目未列名的]
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位置传感器(品牌:BROOKS,搬运晶片的传动机械手臂专用零件,用于感应传输晶圆转载平台上是否有芯片存在) 9031809090 [税目]
其他测量、检验仪器、器具及机器 [指第90章其他税目未列名的]
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传感器(品牌OMRON,多功能测试机用零件,感应传输机台内电磁信号) 9031809090 [税目]
其他测量、检验仪器、器具及机器 [指第90章其他税目未列名的]
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晶片盒开启装置(品牌:SHINKO,晶片缺陷检测专用零件,由马达,气管,气阀,传动轴,电路板,传感器,电缆,支架和外框架组成,用于开启晶片盒) 9031900090 [税目]
品目9031的仪器及器具的其他零件 [第90章其他品目未列名的]
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电路板(品牌:MEI,晶片缺陷检测专用零件, 9031900090 [税目]
品目9031的仪器及器具的其他零件 [第90章其他品目未列名的]
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电路板(品牌:ELTROL,晶片缺陷检测专用零件 9031900090 [税目]
品目9031的仪器及器具的其他零件 [第90章其他品目未列名的]
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真空吸盘(品牌:ADE,晶片缺陷检测专用零件 9031900090 [税目]
品目9031的仪器及器具的其他零件 [第90章其他品目未列名的]
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位置信号传感器(品牌TEL,制造半导体的刻蚀机专用零件,感应传输机台内移动挡板位置信号) 9031809090 [税目]
其他测量、检验仪器、器具及机器 [指第90章其他税目未列名的]
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电路板(KLA-TENCOR,光掩膜缺陷检测专用零件,用于 9031900090 [税目]
品目9031的仪器及器具的其他零件 [第90章其他品目未列名的]
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托盘(品牌:KLA-TENCOR,光掩膜缺陷分析专用零件, 9031900090 [税目]
品目9031的仪器及器具的其他零件 [第90章其他品目未列名的]
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信号接口板(品牌RUDOLPH,晶片缺陷检测专用零件,用于主机和检测器之间的信号连接) 9031900090 [税目]
品目9031的仪器及器具的其他零件 [第90章其他品目未列名的]
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信号读取头(品牌RUDOLPH,晶片缺陷检测专用零件,通过光信号读取光栅信息) 9031900090 [税目]
品目9031的仪器及器具的其他零件 [第90章其他品目未列名的]
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光电传感器(品牌TEL,制造半导体的刻蚀机专用零件,感应 9031499090 [税目]
其他光学测量或检验仪器和器具 [第90章其他税目未列名的]
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位置信号传感器组件(品牌:KLA-TENCOR 9031809090 [税目]
其他测量、检验仪器、器具及机器 [指第90章其他税目未列名的]
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位置信号传感器(TEL,制造半导体的匀胶机专用零件,感应传输机台内金属盖板位置信号) 9031809090 [税目]
其他测量、检验仪器、器具及机器 [指第90章其他税目未列名的]
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偏光器组件(品牌:KLA-TENCOR,晶片缺陷检测专用,由偏光镜和马达,固定框架组成,将普通光源发出的散射光转换成偏振光,用来测量晶圆表面膜厚) 9031900090 [税目]
品目9031的仪器及器具的其他零件 [第90章其他品目未列名的]
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偏振器组件(品牌:KLA-TENCOR,晶片缺陷检测专用,由固定底座,固定框架,偏振镜和马达组成,将普通光源发出的散射光转换成偏振光,用来测量晶圆表面膜厚) 9031900090 [税目]
品目9031的仪器及器具的其他零件 [第90章其他品目未列名的]
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