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9031

本章其他税号未列名的测量或检验仪器、器具及机器;轮廓投影仪:

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塑料托架(KLA-TENCOR,光掩膜缺陷分析专用零件,支撑 9031900090 [税目]
品目9031的仪器及器具的其他零件 [第90章其他品目未列名的]
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托盘(品牌:KLA-TENCOR,光掩膜缺陷分析专用零件, 9031900090 [税目]
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塑料托架(KLA-TENCOR,光掩膜缺陷分析专用零件,支 9031900090 [税目]
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光掩膜托盘(KLA-TENCOR,光掩膜缺陷检测机台专用零件,铝合金制,用于承托光掩模) 9031900090 [税目]
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缓冲(品牌:ACE,晶片缺陷检测专用零件,钢铁制,连接在两机械部件之间,起缓冲减震作用,已制成特定形状) 9031900090 [税目]
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真空吸盘(品牌:ADE,晶片缺陷检测专用零件 9031900090 [税目]
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电路板(品牌:MEI,晶片缺陷检测专用零件, 9031900090 [税目]
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电路板(品牌:ELTROL,晶片缺陷检测专用零件 9031900090 [税目]
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信号电路板(品牌RUDOLPH,晶片缺陷检测专用零件 9031900090 [税目]
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信号电路板(品牌:MARCOLINK,晶片缺陷检测专用零件, 9031900090 [税目]
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信号电路板(品牌BROOKS,晶片缺陷检测专用零件 9031900090 [税目]
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防震脚(KLA-TENCOR,晶片膜厚检测仪器专用零件,放于气动平台下用于防震,钢铁制) 9031900090 [税目]
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聚焦(品牌:KLA-TENCOR,晶片缺陷检测专用,由电路板和外壳组成,根据光信号打到晶圆表面的信号大小,测量并传输聚焦信号,不可读数) 9031900090 [税目]
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偏光器组件(品牌:KLA-TENCOR,晶片缺陷检测专用,由偏光镜和马达,固定框架组成,将普通光源发出的散射光转换成偏振光,用来测量晶圆表面膜厚) 9031900090 [税目]
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偏振器组件(品牌:KLA-TENCOR,晶片缺陷检测专用,由固定底座,固定框架,偏振镜和马达组成,将普通光源发出的散射光转换成偏振光,用来测量晶圆表面膜厚) 9031900090 [税目]
品目9031的仪器及器具的其他零件 [第90章其他品目未列名的]
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偏振器组件(品牌:KLA-TENCOR,晶片缺陷检测专用,由固定底座,固定框架,偏振镜,传感器,电路板和马达组成,将普通光源发生的散射光转换成偏振光,用来测量晶圆表面膜厚) 9031900090 [税目]
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挡光组件(品牌:KLA-TENCOR,晶片缺陷检测专用,由气管,气动装置以及挡光片组成,通过气动装置移动挡光片,用于阻挡部分可见光) 9031900090 [税目]
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限位器(品牌:KLA-TENOCR,晶片缺陷检测专用零件,已制成特定形状,铝合金制,用于机台内汽缸的行程限位) 9031900090 [税目]
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晶片缺陷检测专用旋转装置 9031900090 [税目]
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信号接口板(品牌RUDOLPH,晶片缺陷检测专用零件,用于主机和检测器之间的信号连接) 9031900090 [税目]
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